真空炉长期运行过程中，受部件磨损、操作不当、环境影响等因素，可能出现各类故障。及时准确的故障诊断与有效解决对策，对减少生产损失、延长设备寿命至关重要。真空炉常见故障主要包括真空度不足、温度偏差大、降温速率慢、加热系统运行异常等，掌握相应诊断与解决方法可提升设备养护效率。

真空度不足是最常见故障，主要表现为抽真空速度慢或无法达到设定真空度，可能原因包括密封性差、真空泵故障、管路堵塞。诊断方法：首先检查炉门及法兰O型密封圈是否老化变形，密封面是否有粉尘油污；若密封部位正常，检查真空泵油位与油质，油液浑浊或不足需更换补充；最后检查真空管路是否被粉尘堵塞，清洁管路与过滤器。对难以排查的漏气故障，可采用氦质谱检漏法精确定位漏点。

温度偏差大指炉内实际温度与设定温度不符，或不同位置温差超标，主要原因包括测温不准、加热元件分布不均、温控系统故障。诊断步骤：首先校准热电偶或红外测温仪，检查测温设备准确性；然后打开炉盖，检查加热元件是否断裂、松动或排布不均，必要时更换调整；最后检查温控系统，如PID控制器参数设置是否正确，存在偏差则重新设定。需注意，故障排除后需开展温度均匀性测试，确保温差在允许范围内。

降温速率慢会影响生产效率与产品质量，主要原因包括冷却系统堵塞、冷却介质不足、冷却风机故障。水冷式真空炉需先检查冷却水管路是否被水垢堵塞，必要时用除垢剂清洁；再检查水压是否充足（应大于0.1兆帕）、水温是否过高。空冷式真空炉需检查冷却风机运行是否正常，进出风口是否被粉尘堵塞。此外，检查换热器是否积尘，及时清洁提升换热效率。

加热系统运行异常主要表现为无法升温或升温速率过慢，可能原因包括供电故障、加热元件损坏、接触电阻增大。首先检查供电电压、电流是否正常，检查电源开关与保险丝；若供电正常，检查加热元件是否断裂或氧化，必要时更换；最后检查加热元件与供电线路连接部位，清除接触面氧化层并紧固连接，降低接触电阻。养护过程中需切断电源保障安全，记录故障及解决方法以备后续参考。